Моделирование распределения потенциала в МДП-структуре

Главная Учебники - Разные Лекции (разные) - часть 55

Моделирование распределения потенциала в МДП-структуре

Министерство общего и профессионального образования РФ

Воронежский государственный университет

факультет ПММ

кафедра Дифференциальных уравнении

“Моделирование распределения потенциала

в МДП-структуре”

Исполнитель : студент 4 курса 5 группы

Никулин Л.А.

Руководитель : старший преподаватель

Рыжков А.В.

Воронеж 1998г.

ОГЛАВЛЕНИЕ

МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПОТЕНЦИАЛА В МДП-СТРУКТУРЕ

Математическая модель - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 3

ПРИМЕНЕНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ К

РЕШЕНИЮ ЗАДАЧИ

Использование разностных схем для решения

уравнения Пуассона и для граничных условий

раздела сред

Уравнение Пуассона - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 5

Граничные условия раздела сред - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 8

Общий алгоритм численого решения задачи

Метод установления - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 10

Метод переменных направлений - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 13

Построение разностных схем - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 16

ПРИЛОЖЕНИЕ - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

- - - - - - - - - - - - - - - - - -

Математическая модель распределения потенциала в МДП-структуре

Математическая модель

Пустьj ( x,y ) - функция, описывающая распределение потенциала в полупроводниковой структуре. В области оксла (С DEF ) она удовлетворяет уравнению Лапласа:

d² j ₊ d² j _{= 0}

dx² dy²

а в области полупроводника (прямоугольник ABGH ) - уравнению Пуассона:

d² j ₊ d² j ₌ ₀

dx² dy²

где

q - элементарный заряд e ;

e _nn -диэлектрическая проницаемость кремния;

N _d (x,y) -распределение концентрации донорской примеси в подложке ;

N _a ( x,y ) -распределение концентрации акцепторной примеси в подложке;

e ₀ -диэлектрическая постоянная

₀ _D _E

_y

_{B G}

^{C F}

_{A H}

_x

Рис.1.

На контактах прибора задано условие Дирихле:

j | _BC = Uu

j | _DE = U з

j | _FG = Uc

j | _AH = Un

На боковых сторонах полупроводниковой структуры требуется выполнение

однородного условия Неймана вытекающее из симметричности структуры

относительно линий лежащих на отрезках AB иGH :

d j ₌ ₀ d j _{= 0}

dy _AB dy _GH

На боковых сторонах окисла так же задается однородное условие Неймана

означающее что в направлении оси OY отсутствует течение электрического

тока:

d j ₌ ₀ d j _{= 0}

dy _DC dy _EF

На границе раздела структуры окисел- полупроводник ставится условие

сопряжения :

j | _-0 = j |₊₀

e _ok E _x |_-0 - e _nn E _x |₊₀ = - Q_ss

где Q_ss -плотность поверхностного заряда;

e _ok -диэлектрическая проницаемость окисла кремния;

e _nn -диэлектрическая проницаемость полупроводника .

Под символом “+0 ” и”- 0 ” понимают что значение функции беретсябесконечно близко к границе CF со стороны либо полупроводникалибо окисла кремния . Здесь первое условие означает непрерывностьпотенциала при переходе границы раздела сред а второе - указывает соотношение связывающее величину разрыва вектора напряженностипри переходе из одной среды в другую с величиной поверхностногозаряда на границе раздела.

ПРИМЕНЕНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ К

РЕШЕНИЮ ЗАДАЧИ

Использование разностных схем для решения уравнения Пуассона и для граничных условий раздела сред

Уравнение Пуассона

В области{(x,y) : 0 < x < L_x , 0 < y < L_y } вводится сетка

W={(x,y) : 0 < i < M₁ , 0 < j < M₂ }

x₀ =0 , y₀ =0, x _M ₁ = L_x , y _M ₂ = L_y

x_i+1 = x_i + h_i+1 , y_j+1 = y_j + r_j+1

i = 0,...,M₁ -1 j = 0,...,M₂ -1

Потоковые точки:

x_{i+ ½} = x_i ₊ h_i+1 , i = 0,1,...,M₁ -1

2

y_{j+ ½} = y_j ₊ r_j+1 , j = 0,1,...,M₂ -1

2

Обозначим :

U (x_i ,y_j ) = U_ij

I(x_i+½ ,y_j ) = I_i+½,j

I(x_i ,y_j+½ ) = I_i,j+½

Проинтегрируем уравнение Пуассона:

Dj = - q (N _d + N _a )

e ₀ e _n

Q(x,y)

по области:

V _ij = { (x,y) : x_{i- ½} < x < x_{i+ ½} , y_{j- ½} < y < y_{j+ ½} }

x_{i+ ½} y_{j+ ½} x_{i+ ½} y_{j+ ½}

ò ò Dj dxdy = ò ò Q(x,y)dxdy

x_{i- ½} y_{j- ½} x_{i- ½} y_{j- ½}

Отсюда:

y_j+½ x_i+½

ò (Ex(xi+½,y) - Ex(xi-½,y) )dx + ò ( Ey(x,yj+½) - Ey(x,yj-½) ) dy=

y_j-½ x_i-½

x_{i+ ½} y_{j+ ½}

= ò ò Q(x,y)dxdy

_xi- _½ y_{j- ½}

Здесь:

E_x (x,y) = - d j (x,y)

dx (*)

E_y (x,y) = - d j (x,y)

dy

x у -компоненты вектора напряженности электрического поля Е .

Предположим при

y_j-½ < y < y_{j- ½} E_x (x_{i +} _½ ,y_j ) = E_{i+ ½ ,j} = const

y_j-½ < y < y_{j- ½} Ex(x_{i - ½} ,y_j ) = E_{i- ½ ,j} = const (**)

x_i-½ < x < x_{i+ ½} Ey(x_i , y_{j + ½} ) = E_{i,j+ ½} = const

x_i-½ < x < x_{i+ ½} Ey(x_i , y_j _-½ ) = E_i,j _{- ½} = const

x_{i- ½} < x < x_{i+ ½}

y_{j- ½} < y < y_{j+ ½} - Q(x,y) = Q_ij = const

Тогда

(E_x )_{i+ ½ ,j} - (E_x )_{i -½ ,j} r^* _j + (E_y )_{ij+ ½} - (E_y )_{ij- ½} h^* _i = Q_ij h^* _i r^* _j

где h^* _i = h_i - h_i+1 , r^* _j = r_j - r_j+1

2 2

Теперь Е_i+ _½ _,j выражаем через значение j (x,y) в узлах сетки:

x_i+1

òE x(x,y_j )dx = - j _i+1,j - j _ij

x_i

из (* *) при y=y_j :

(E_x )_{i+ ½ ,j} = - j _i+1j - j _ij

h_i+1

Анологично :

(E_y )_{i,j+ ½} = - j _ij+1 - j _ij

r_j+1

Отсюда:

( Dj )_ij = 1 j _i+1,j - j _ij - j _{i j} - j _i-1,j + 1 j _{i j+1} - j _ij - j _ij - j _ij-1 =

h^* _i h_i+1 h_i r^* _j r_j+1 r_j

= N d_ij + N a_ij

Граничные условия раздела сред

SiO₂

e₁

Si y

e_n

x

Для области V _0j

y_{j+ ½} x_½

e _n e ₀ ò (E_x (x_½ ,y) - E⁺ _x (0,y))dy + e _n e ₀ ò (E_y (x,y_{j+ ½} ) - E_y (x,_{j- ½} ))dx =

y_{j- ½} 0

x_½ y_j+½

= q ò ò ( N d + N a ) dxdy

0 y_j-½

Для области V` _0j

y_{j+ ½} x_½

e _n e ₀ ò (E^- _x (0,y) - E_x (x _-½ ,y))dy + e _n e ₀ ò (E_y (x,y_j+½ ) - E_y (x,_j-½ ))dx = 0

y_{j- ½} 0

где E⁺ _x (0,y) и E^- _x (0,y) -предельные значения х компоненты вектора

Е со стороны кремния и окисла.Складывая равенства и учитывая

условия:

e _n e ₀ d j ⁺ - e ₁ e ₀ d j ^- = -Qss

dx dx

имеем

y_j+½ x_½

ò ( e _n e ₀ E_x (x_½ ,y) - e ₁ e ₀ E_x (x_-½ ,y) - Q_ss (y) ) dy + e _n e ₀ ò ( E_y (x,y_j+½ ) + E _y (x_, y_j-½ ) ) dx +

y_j-½ 0

0 x_½ y_j+½

+ e ₁ e ₀ ò (E_y (x,y_j+½ ) - E_y (x,y_j-½ ))dx = q ò ò ( N _d + N _a ) dxdy

x_-½ 0 y_j-½

Сделав относительно E_x и E_y предположения анологичные (**) положив Q_ss ( y ) = Q_ss = const при y_j-½ < y < y_j+½ и учитывая условия :

j⁺ = j^- dj ⁺ = dj ^-

dy dy

“+”- со стороны кремния

“-“ - со стороны окисла

Получим :

e _n e ₀ (E_x )_½,j - e ₁ e ₀ (E_x )_-½,j - Q_ss r^* _j + e _n e ₀ h₁ + e ₁ e ₀ h_-1 _. (E_y )_0,j+½ - (E_y )_0,j-½ =

2 2

= q (N d_0j - N a_0j ) h₁ r^* _j

2

что можно записать :

1 e _n e ₀ j _ij - j _0j - e ₁ e ₀ j _0j - j _ij + e _n e ₀ h₁ + e ₁ e ₀ h_-1 j _0,j+1 - j _0j - j _0j - j _0,j-1 =

h^* h₁ h_-1 2h^* r^* _j r_j+1 r_j

= - q ( Nd_0j - Na_0j ) . h₁ - Q_ss

2 h^* h^*

где h^* = h₁ + h_-1

2

Общий алгоритм численого решения задачи

Метод установления

Для вычисленя решений многих решений многих многих стационарных задач математической физики, описывающих равновесные состояния, рассматриватривают последнии как результат установленияразвивающегося во времени процесса, расчёт которых оказывается проще, чем прямой расчёт равновесного состояния.

Рассмотрим применение метода установления на примере алгоритма для вычисления решения задачи Дирихле:

L _xx U_mn + L _yy U_mn = j (x_m ,y_n ) (1)

U_mn | г = Y (s_mn ) m,n = 1,2,...,M-1

аппроксимирующий дифференциальную задачу Дирихле:

d² U + d² U = j (x,y) 0<= x <=1

dx² dy² (2)

U | г = Y (s) 0<= y <=1

Вслучае задачи (1) удаётся провести теоретический анализ различных алгоритмов установления с помощью конечных рядов Фурье.

Способыточного решения задачи (1) выдерживающие обобщения на случай переменных коэффициенто и областей скриволинейной границей, например, метод исключения Гаусса , при сколько-нибудь больших и становится неудобным и не применяются.

Решение U (x,y) Задачи (2) можно понимать как не зависящую от времени температуру в точке ( x,y ) пластинки, находящейся в теплолвом равновесии. Функция j (x,y) и Y (s) означаютв таком случае соответственно распределения источников тела и температуру на границе.

Рассмотрим вспомогательную нестационарную задачу о распределении тепла:

dV = d² V + d² V - j (x,y)

dt dx² dy²

V | г = Y (s) (3)

V (x,y,0) = Y ₀ (x,y)

где j иY те же что и в задаче (2) , а Y ₀ (x,y) - произвольная.

Поскольку источники теплп j (x,y) и температура на границе Y (s) не зависит от времени, то естественно, что и решение V (x,y,t) с течением времени будет менятся всё медленнее, распределение температур V (x,y,t) в пределе при t -OO превращается в равновесное распределение тмператур U (x,y) , описываемое задачей (2) . Поэтому вместо стационарной задачи (2) можно решать нестационарную задачу (3) до того времени t , пока её решение перестаёт менятся в пределах интересующей нас точности. В этом состоит идеал решения стационарных задач методом установления.

В соответствии с этим вместо задачи (2) решается задача (3) , а вместо разностной схемы (1) для задачи (2) рассмотрим и составим три различные разностные схемы для задачи (3) .

Именно, рассмотрим простейшую явную разностною схему:

U^p+1 _mn - U^p _mn = L _xx U^p _mn + L _yy U^p _mn - j (x_m ,y_n )

t

U^p+1 _mn | г = Y (s_mn ) (4)

U⁰ _mn = Y₀ x_m ,y_n )

Рассмотрим так же простейшую неявную разностную схему:

U^p+1 _mn - U^p _mn = L _xx U^p+1 _mn + L _yy U^p+1 _mn - j (x_m ,y_n )

t

U^p+1 _mn | г = Y (s_mn ) (5)

U⁰ _mn = Y ₀ (x_m ,y_n )

и исследуем схему применения направлений

U’_mn - U^p _mn = 1 [ L _xx U’_mn + L _yy U^p _mn - j (x_m ,y_n )]

t 2

U^p+1 _mn - U’_mn = 1 [ L _xx U’_mn + L _yy U^p+1 _mn - j (x_m ,y_n )]

t 2 (6)

U^p+1 _mn | г = U’_mn | г = Y (s_mn )

U⁰ _mn = Y ₀ (x_m ,y_n )

Будем считать, что Y ₀ (x_m ,y_n ) по уже известному U^p ={U^p _mn } для схемы (4) оссуществляется по уже явным формулам.

Вычисление U^p+1 = {U^p+1 _mn } по схеме (5) требует решения задачи :

L _xx U^p+1 _mn + L _yy U^p+1 _mn - U^p+1 _mn = j (x_m ,y_n ) - U^p _mn

t t (7)

U^p+1 _mn | г = Y (s_mn )

Вычисление U^p+1 = {U^p+1 _mn } по уже известным U^p = {U^p _mn } по схеме (6) осуществляется прогонками в направлении оси OX для вычисления решений {U’_mn } одномерных задач при каждом фиксированом n , а затем прогонками в направлнии осиOY для вычисления решений {U^p+1 _mn } одномерных задач при каждом фиксированом m .

Для каждой из двух разностных схем (4) и (6) рассмотрим разность для счёта погрешностеи вычислений:

e ^p _mn = U^p _mn - U_mn

между сеточной функцией U^p = {U^p _mn } и точным решением U = {U_mn } задачи (1) .

Решение {U_mn } задачи (1) удовлетворяет уравнениям:

U^p _mn - U_mn = L _xx U_mn - j (x_m ,y_n )

t

U_mn | г = Y (s_mn )

U⁰ _mn = U_mn

Вычитая эти равенства из (4) почленно, получим для погрешности e ^p _mn следующую разностную задачу:

e ^p+1 _mn